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我司电磁加热器批量应用于真空镀膜机扩散泵上
2013-08-01 来源:碧源达科技
扩散泵电磁加热器为深圳市碧源达2013年最新热销产品,以加热速度快、高效节能为客户带来更方便快捷,更省钱的加热体验,深受真空镀膜企业喜爱,2013年至今三个月来的销量已达百余台。
扩散泵作为真空系统的主泵已经有几十年的历史了,而扩散泵的加热方式迄今为止虽有N个变化方式却多不尽人意。最早的电阻丝加热方式一直沿用至今。虽有部分仁人志士对其做过N次改进,效果还是一般,仍然存在着:容易断丝,容易短路,等诸多可靠性低的易发故障。电阻加热的第二代加热器,为电加热管的加热方式,而干烧的加热管最长的寿命为100天。
电阻加热的第三代加热器,为圆饼式、扇形饼式。寿命比加热管稍长。但要求加热饼紧贴扩散泵底。这点用户很难做到。还有导线接入区域温度过高触电区域极易氧化虚接。虽经N次改进故障率仍居高难下。
电阻加热的第二代变种加热方式为电热管插入扩散泵内的加热方式。这种加热方式的优点是:加热速度快。然而缺点也极其明显:扩散泵内一旦缺油便引起加热管干烧,链锁反应造成炸管、炸套管、导致扩散泵泄漏、扩散泵油裂解、氧化、碳化失效。让用户苦不堪言。
最为科学的加热方式,便是将电磁加热器的加热技术转化到扩散泵的加热上。这便带来了革命性的进步。
用这种方式加热的优点便是加热速度快。节能、炉子本身不热。炉子本身寿命长。故障率极低。
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